 |
НАУЧНАЯ БИБЛИОТЕКА - РЕФЕРАТЫ - Расчет характеристик канала вывода СИ синхротронного излучения
Расчет характеристик канала вывода СИ синхротронного излучения
Основные свойства синхротронного излучения.
Синхротронное излучение (СИ) испускается заряженными
частицами (электронами, протонами, позитронами), движущимися с релятивистскими
скоростями по искривленным траекториям. Генерация СИ обусловлена наличием у
частицы центростремительного ускорения. Предсказанное в конце прошлого века и
открытое почти 50 лет назад (1945г.) СИ рассматривалось вначале как “помеха” в
работе циклических ускорителей - синхротронов. Только в последние 10¼15
лет СИ привлекло внимание исследователей исключительным богатством своих
специфических свойств и возможностью их применения.
Структура накопителя электронов.
ПМ-поворотные
магниты; В-магнитное поле; Р-вектор поляризации фотонов,
излучаемых в плоскости орбиты электронов;
Щ-щель канала вывода, ограничивающая ширину пучка СИ по
горизонтали.
Си обладает следующими уникальными свойствами:
1.
СИ - излучение с исключительно высокой коллимацией пучка. Пучок СИ испускается
электроном по касательной к траектории и имеет угловую расходимость y»g-1, где g -
релятивистский фактор (отношение энергии электронов Е в накопителе к энергии
покоя электрона Е0=0.511МэВ);
для типичных значений Е»1ГэВ имеем g»103 и y»1мра¶.
2.
СИ обладает широким, непрерывным, легко перестраиваемым спектром, перекрывающим
практически весь рентгеновский диапазон и область ультрафиолетового излучения
(0.1¼100нм).
Для описания спектральных свойств СИ
вводится понятие критической длины волны lс. Это длина волны, которая делит
энергетический спектр СИ на две равные части (суммарная энергия излучаемых
фотонов с длинами волн меньше lс равна суммарной энергии фотонов с
длинами волн больше lс).
3.
СИ обладает очень высокой интенсивностью. Интенсивность СИ в наиболее важном
для исследований и технологии рентгеновском диапазоне более чем на пять
порядков превышает интенсивность рентгеновских трубок.
4.СИ
обладает естественной поляризацией: строго линейной на оси пучка (вектор
электрического поля лежит в плоскости орбиты электронов) и строго циркулярной
на его периферии. Поляризация СИ играет важную роль во многих прецизионных
методах исследования материалов и структур микроэлектроники.
Перечисленные выше уникальные свойства синхротронного
излучения позволяют поднять на новый качественный уровень субмикронную
микротехнологию и аналитические методы диагностики субмикронных функциональных
структур.
Контраст в системах экспонирования с применением синхротронного излучения.
Рентгенолитография с применением синхротронного излучения -
это многофакторный технологический процесс, в котором важную роль играют
параметры многих компонентов литографической системы: источника излучения,
канала вывода, рентгеношаблона, рентгенорезиста.
Главный фактор, определяющий потенциальные возможности того
или иного литографического метода в микротехнологии СБИС - разрешение или минимальный размер надежно
воспроизводимого в резисте элемента рентгеношаблона. В рентгенолитографии
разрешение определяется, с одной стороны, волновой природой рентгеновского
излучения (дифракционные искажения), с другой стороны, нелокальным характером
формирования реального скрытого изображения (генерация фото- и оже- электронов рентгеновскими фотонами и
вторичное экспонирование резиста этими электронами). Кроме того, реальное
технологическое разрешение очень сильно зависит от процесса проявления
полученного скрытого изображения.
Для оценки эффективности работы рентгенолитографической
системы экспонирования в той или иной области спектра нужно учитывать не
только спектральную эффективность рентгенорезиста, но и рентгеновскую
прозрачность, то есть оптические характеристики литографического канала вывода
СИ. Поэтому в системах экспонирования с применением рентгеновского излучения
(например, в рентгенолитографических системах экспонирования) одним из важных
параметров является контраст получаемого рентгеновского изображения (например
контраст скрытого изображения в рентгенорезисте).
Схема рентгенографической системы
экспонирования в пучках СИ.
1-вакуумное
окно; 2-мембрана
рентгеношаблона; 3-маска; 4-резист; 5-рабочая пластина.
Московский Государственный Институт Электронной Техники
технический университет
Кафедра Субмикронной
технологии
Курсовая работа
Расчет оптических характеристик
канала вывода СИ
Выполнил
студент гр. МТ-42 Гаврилов А. В.
Принял
Матвеев В. М.
Москва 1996г.
.MCD
30001 1 74
.CMD
PLOTFORMAT
0 0 1 0
0
0 0 1 0
0
0 1 0 0
NO-TRACE-STRING
0 2 1 0
NO-TRACE-STRING
0 3 2 0
NO-TRACE-STRING
0 4 3 0
NO-TRACE-STRING
0 1 4 0
NO-TRACE-STRING
0 2 5 0
NO-TRACE-STRING
0 3 6 0
NO-TRACE-STRING
0 4 0 0
NO-TRACE-STRING
0 1 1 0
NO-TRACE-STRING
0 2 2 0
NO-TRACE-STRING
0 3 3 0
NO-TRACE-STRING
0 4 4 0
NO-TRACE-STRING
0 1 5 0
NO-TRACE-STRING
0 2 6 0
NO-TRACE-STRING
0 3 0 0
NO-TRACE-STRING
0 4 1 0
NO-TRACE-STRING
0 1 21
15
.CMD
FORMAT rd=d ct=10 im=i et=3 zt=15 pr=5
¬бб ¤«Ё ўpҐ¬п §ап¤
.CMD
SET ORIGIN 1
.CMD
SET TOL 0.000100000000000
.CMD
SET PRNCOLWIDTH 8
.CMD
SET PRNPRECISION 4
.CMD
PRINT_SETUP 1.000000 0
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE_NAME fontID=0 name=Variables
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE_NAME fontID=1 name=Constants
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE_NAME fontID=2 name=Text
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE_NAME fontID=3 name=Greek^Variables
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE_NAME fontID=4 name=‡аголовок
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE_NAME fontID=5 name=User^2
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE_NAME fontID=6 name=User^3
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE_NAME fontID=7 name=User^4
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE_NAME fontID=8 name=User^5
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE_NAME fontID=9 name=User^6
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE fontID=0 family=Times^New^Roman points=12 bold=0 italic=0
underline=0
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE fontID=1 family=Tms^Rmn points=12 bold=0 italic=0 underline=0
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE fontID=2 family=Times^New^Roman^Cyr points=12 bold=0 italic=1
underline=0
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE fontID=3 family=Symbol points=12 bold=0 italic=0 underline=0
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE fontID=4 family=Arial points=20 bold=1 italic=1 underline=0
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE fontID=5 family=Courier points=10 bold=0 italic=0 underline=0
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE fontID=6 family=System points=10 bold=0 italic=0 underline=0
.CMD DEFINE_FONTSTYLE
fontID=7 family=Script points=10 bold=0 italic=0 underline=0
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE fontID=8 family=Terminal points=0 bold=0 italic=0 underline=0
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE fontID=9 family=Modern points=10 bold=0 italic=0 underline=0
.CMD
UNITS U=1
.TXT 4
1 0 0
C
b32000,584,103
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{\f0 \fs40 \b \i \ulnone ђасзев
опвизеские еаракверисвик канала\par
влвода ‘€}{}}
}
.TXT 9
0 0 0
C
b32000,584,95
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{
}{}{\f1 \fs24 \b \i \ul
сеоднле
даннле.}{}}
}
.TXT 4
0 0 0
C
a242,584,39
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{ќнергип нлеквронов в накопивеле:}{}}
}
.EQN 0
56 0 0
E:1.6
.TXT 0
10 0 0
C
a28,360,10
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{ѓн‚}{}}
}
.TXT 3
-66 0 0
C
a156,584,26
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{Њагнивнап индгкжип:}{}}
}
.EQN 0
56 0 0
B:0.6
.TXT 0
10 0 0
C a29,344,9
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{’л}{}}
}
.TXT 3
-66 0 0
C
a323,584,30
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{„лина канала влвода ‘€:}{}}
}
.EQN 0
57 0 0
L:10
.TXT 0
9 0 0
C
a26,320,8
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{м}{}}
}
.TXT 4
-66 0 0
C
a160,584,26
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{’олйина окна из Be:}{}}
}
.EQN 0
50 0 0
h.Be:200*(10)^(-4)
.TXT 0
16 0 0
C
a17,296,9
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{см}{}}
}
.TXT 4
-66 0 0
C
a310,584,43
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{’олйина Si-мембранл ренвгеноиабло
на:}{}}
}
.EQN 0
52 0 0
h.Si:2*(10)^(-4)
.TXT 0
14 0 0
C
a17,240,9
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{см}{}}
}
.TXT 4
-66 0 0
C
a249,584,39
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{’олйина маскиргойего слоп из
Au:}{}}
}
.EQN 0
53 0 0
h.Au:(10)^(-4)
.TXT 0
13 0 0
C
a17,240,9
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{см}{}}
}
.TXT 5
-66 0 0
C
b32000,584,96
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{
}{}{\f1 \fs24 \b \i \ul ђасзев опвизе
ские
еаракверисвик.}{}}
}
.TXT 5
0 0 0
C
a214,584,34
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{Љривизескап длина волнл ‘€:}{}}
}
.EQN 0
35 0 0
{3}l.00:(18.6)/((E)^(2)*B)
.TXT 6
-35 0 0
C
b32000,584,19
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{Њойносвм ‘€:}{}}
}
.EQN 9
0 0 0
P({3}l):0.3253*{3}p*((E)^(4)*B)/((L)^(2)*exp(({3}l.00)/({3}l)))*((({3}l.00)/({3}l)))^(2)*((1+(7*(({3}l.00)/({3}l)+2))/(36*((({3}l.00)/({3}l)+1.45))^(2)-44.39)))^(2)
.TXT 11
0 0 0
C
b32000,584,79
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{Љонддижиенвл ослабленип ‘€, при
проеождении зерез мавериалл: Be, Si, Au.}{}}
}
.EQN 5
0 0 0
K.Be({3}l):exp(-h.Be*if(log({3}l)<0.9,0.5*({3}l)^(3.055),0.61*({3}l)^(2.973)))
.EQN 5
0 0 0
K.Si({3}l):exp(-h.Si*if(log({3}l)<0.83,45.88*({3}l)^(2.774),4.225*({3}l)^(2.693)))
.EQN 5
0 0 0
K.Au({3}l):exp(-h.Au*if(log({3}l)<0.75,3536*({3}l)^(1.73),1353*({3}l)^(2.51)))
.TXT 6
0 0 0
C
b32000,584,123
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{ђасзев зназений длин волн, при
коворле мойносвм ‘€ максималмна\par (}{}{\f1
\fs24
\b0 \i \ul приближенле зназенип}{}{):}{}}
}
.TXT 6
6 0 0
C
a157,536,19
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{- исеодного:}{}}
}
.EQN 0
30 0 0
{3}l.0:0.5*{3}l.00
.TXT 4
-30 0 0
C
a282,536,34
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{- проиедиего зерез Be и Si:}{}}
}
.EQN 0
30 0 0
{3}l.1:3.2
.TXT 4
-30 0 0
C
a219,536,38
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{- проиедиего зерез Be, Si и Au:}{}}
}
.EQN 0
30 0 0
{3}l.2:2.3
.EQN 4
-36 0 0
Given
.EQN 2
28 0 0
{3}l.0"P({3}l.0)з0
.TXT 4
18 0 0
C
a145,216,40
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{Ѓлок\par диддеренжиалмнле\par
гравнений}{}}
}
.EQN 3
-37 0 0
{3}l.1"(P({3}l.1)*K.Be({3}l.1)*K.Si({3}l.1))з0
.EQN 7
-9 0 0
{3}l.2"(P({3}l.2)*K.Be({3}l.2)*K.Si({3}l.2)*K.Au({3}l.2))з0
.TXT 4
0 0 0
C
x1,1,0,0
.TXT 7
2 0 0
C
a329,584,111
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{Ќаеождение }{}{\f1 \fs24 \b0
\i \ul
вознле зназений}{}{ длин волн,\par
при
коворле мойносвм ‘€ максималмна:}{}}
}
.EQN 1
41 0 0
({3,1}ж{3}l.2ж{3}l.1ж{3}l.0):find({3}l.0,{3}l.1,{3}l.2)
.TXT 9
-43 0 0
C
b32000,584,103
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{”гнкжии }{распределенип мойносви
‘€ после проеожденип зерез мавериалл\par
Be, Si
и Au сооввевсввенно:}{}}
}
.EQN 7
13 0 0
Be({3}l):if(K.Be({3}l)<(10)^(-3),P({3}l.0)*(10)^(-4),P({3}l)*K.Be({3}l))
.EQN 5
0 0 0
Si({3}l):if(K.Si({3}l)<(10)^(-3),P({3}l.0)*(10)^(-4),Be({3}l)*K.Si({3}l))
.EQN 5
0 0 0
Au({3}l):if(K.Au({3}l)<(10)^(-3),P({3}l.0)*(10)^(-4),Si({3}l)*K.Au({3}l))
.TXT 5
-13 0 0
C
a392,584,57
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{€нвервал до кривизеской длинл
волнл разбиваевсп на}{}}
}
.EQN 0
49 0 0
N:500
.TXT 0
8 0 0
C
a47,112,13
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{возек.}{}}
}
.TXT 3
-57 0 0
C
a413,584,60
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{€нвервал после кривизеской дли
нл
волнл разбиваевсп на}{}}
}
.EQN 0
52 0 0
n:100
.TXT 0
8 0 0
C
a47,112,13
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{возек.}{}}
}
.TXT 3
-60 0 0
C
a368,584,55
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{ђасзев ведевсп по всемг спеквралм
номг
инвервалг:}{}}
}
.EQN 0
47 0 0
z:0;(N+n)
.EQN 6
-34 0 0
A:(log({3}l.00))/(N)
.EQN 0
21 0 0
B:(log(1000)-log({3}l.00))/(n)
.TXT 5
-34 0 0
C
b32000,584,61
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{Љаждой возке свавивсп в сооввев
сввие
своп длина волнл:}{}}
}
.EQN 5
16 0 0
{3}l(z):if(z>N,(10)^(B*(z-N)+log({3}l.00)),(10)^(A*z))
.TXT 5
-16 0 0
C
b32000,584,57
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{€нвегралмнап мойносвм ‘€ проиедиего
зерез Be и Si:}{}}
}
.EQN 4
11 0 0
P.1:z$(({3}l(z+1)-{3}l(z))*P({3}l(z))*K.Be({3}l(z))*K.Si({3}l(z)))
.TXT 7
-11 0 0
C
b32000,584,61
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{€нвегралмнап мойносвм ‘€ проиедиего
зерез Be, Si и Au:}{}}
}
.EQN 4
5 0 0
P.2:z$(({3}l(z+1)-{3}l(z))*P({3}l(z))*K.Be({3}l(z))*K.Si({3}l(z))*K.Au({3}l(z)))
.TXT 8
-5 0 0
C
a331,584,48
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{Љонврасв по пропгсканио ренвге
ноиаблоном:}{}}
}
.EQN 0
52 0 0
(P.1)/(P.2)=?_n_u_l_l_
.TXT 8
-52 0 0
C
a384,584,53
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{Љонврасв по поглойенио в ЏЊЊЂ-ре
нвгенорезисве:}{}}
}
.EQN 0
52 0 0
(P.1*({3}l.1)^(3))/(P.2*({3}l.2)^(3))=?_n_u_l_l_
.TXT 5
-52 0 0
C
x1,1,0,0
.TXT 9
0 0 0
C
b32000,584,104
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{ }{}{\f1 \fs24 \b
\i \ul
аспределение мойносви ‘€ по всемг
спеквралмномг инвервалг.}{}}
}
.EQN 1
0 0 0
P({3}l.0)&P({3}l.0)*(10)^(-3)&P({3}l(z)),Be({3}l(z)),Si({3}l(z)),Au({3}l(z))@1000&1&{3}l(z)
1 0 1 1
0
1 0 0 1
0
0 4 2 0
NO-TRACE-STRING
0 2 1 0
NO-TRACE-STRING
0 1 6 0
NO-TRACE-STRING
0 3 0 0
NO-TRACE-STRING
0 1 4 0
NO-TRACE-STRING
0 2 5 0
NO-TRACE-STRING
0 3 6 0
NO-TRACE-STRING
0 4 0 0
NO-TRACE-STRING
0 1 1 0
NO-TRACE-STRING
0 2 2 0
NO-TRACE-STRING
0 3 3 0
NO-TRACE-STRING
0 4 4 0
NO-TRACE-STRING
0 1 5 0
NO-TRACE-STRING
0 2 6 0
NO-TRACE-STRING
0 3 0 0
NO-TRACE-STRING
0 4 1 0
NO-TRACE-STRING
0 1 62
43
.TXT 62
0 0 0
C
b32000,584,105
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{ }{}{\f1
\fs24
\b \i \ul ‘пеквр распределенип мой
носви
в пределае 1 нм.}{}}
}
.EQN 1
0 0 0
P({3}l.0)&P({3}l.0)*(10)^(-3)&P({3}l(z)),Be({3}l(z)),Si({3}l(z)),Au({3}l(z))@10&1&{3}l(z)
1 0 1 1
0
1 0 0 1
0
0 4 2 0
NO-TRACE-STRING
0 2 1 0
NO-TRACE-STRING
0 1 6 0
NO-TRACE-STRING
0 3 0 0
NO-TRACE-STRING
0 1 4 0
NO-TRACE-STRING
0 2 5 0
NO-TRACE-STRING
0 3 6 0
NO-TRACE-STRING
0 4 0 0
NO-TRACE-STRING
0 1 1 0
NO-TRACE-STRING
0 2 2 0
NO-TRACE-STRING
0 3 3 0
NO-TRACE-STRING
0 4 4 0
NO-TRACE-STRING
0 1 5 0
NO-TRACE-STRING
0 2 6 0
NO-TRACE-STRING
0 3 0 0
NO-TRACE-STRING
0 4 1 0
NO-TRACE-STRING
0 1 62
43
| |
|
|
